极紫外光刻机光学系统_极紫外光刻机光学系统

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...紫外领域有技术储备并在提升光学加工及镀膜工艺,但尚无用于光刻机...金融界9月10日消息,有投资者在互动平台向国科天成提问:董秘你好!贵司在高端可见光、紫外技术储备及光学加工及镀膜工艺方面,是否可以在光刻机领域实现国产替代!谢谢!公司回答表示:尊敬的投资您好!公司目前主要定位在红外领域,在高端可见光、紫外领域有一定技术储备并在持续...

阿斯麦High-NA EUV光刻机取得突破 成功印刷10纳米线宽图案荷兰阿斯麦公司宣布,其首台采用0.55数值孔径 投影光学系统的高数值孔径 极紫外 光刻机已经成功印刷出首批图案,这标志着ASML公司以及整个高数值孔径EUV光刻技术领域的一项重大里程碑。本文源自金融界AI电报

阿斯麦High-NA EUV光刻机取得重大突破IT之家 4 月 18 日消息,荷兰阿斯麦 (ASML) 公司宣布,其首台采用 0.55 数值孔径 (NA) 投影光学系统的高数值孔径 (High-NA) 极紫外 (EUV) 光刻机已经成功印刷出首批图案,这标志着 ASML 公司以及整个高数值孔径 EUV 光刻技术领域的一项重大里程碑。ASML 公司在声明中表示:“我们...

＞▂＜ 联合光电:具备生产制造各类高端光学镜头及光电产品的技术与能力网络显示全资孙公司成都联江的实用新型“紫外单倍率投影曝光物镜及光刻机”和“紫外窄光谱双远心光刻镜头以及光刻机”2022年即取得授... 光学部件、光电系统等技术开发和产品研发。公司具备生产制造各类高端光学镜头及光电产品的技术与能力,具体的产品可根据客户的需求进行...

上海光机所在EUV和软x射线首次实现结构涡旋光调控中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室张军勇副研究员联合哈尔滨工业大学赵永蓬教授课题组和上海理工大学詹其文教授课题组,首次完成EUV和软x射线的结构涡旋光调控与实验验证,为极紫外和软x射线波段的结构光刻、结构分束调控,和短波超分辨成像开辟了...